Описание установки

Установка UVE-M545B предназначена для двухстороннего экспонирования сухого плёночного фоторезиста.

Машина оснащена системой автоматического совмещения фотошаблона и печатной платы по реперным знакам с контролем качества выравнивания на встроенном видеомониторе.

С несколько меньшей производительностью установку можно эксплуатировать для экспонирования паяльной маски.

Особенности

Одновременное двустороннее экспонирование с производительностью 2-2,5 заготовки в минуту.

Две рамы экспонирования «стекло-стекло».

Ручная установка и снятие заготовки, автоматическое совмещение с рисунком фотошаблона.

Фиксация заготовок: штифты 3 мм

Фиксация фотошаблона: вакуум

Система совмещения: автоматическое выравнивание по реперным знакам (диск на верхнем фотошаблоне; кольцо на нижнем фотошаблоне).

Система технического зрения: автоматически передвигаемые 4 ПЗС видеокамеры (при совмещении используются любые 2 или 3 камеры).

Переключение мощности ламп 5 кВт и 2 кВт

Автоматическое управление временем экспонирования

Управление установкой от программируемого логического контроллера и компьютера с большим сенсорным экраном.

Охлаждение ламп экспонирования производится принудительным обдувом воздухом. Установка оснащена встроенной системой кондиционирования.

Чистый воздух попадает в камеру экспонирования через встроенный HEPA фильтр класса 5000.

Технические характеристики

Размеры заготовки: от 355×305 мм до 546×622 мм
(поля на заготовке должны быть более 7,5 мм).

Эффективная область экспонирования 546×622 мм.

Толщина заготовки: 0,1-3,2 мм.

Размеры фотошаблона: фиксированный размер до 609,6×683,6 мм (указывается при заказе установки).

Фиксирование фотошаблона на стекле: вакуум более чем −650 мм.рт.ст.

Точность совмещения фотошаблонов: ±15 мкм

Уровень вакуума в раме экспонирования: −180~-450 мм.рт.ст.

Источник света: две металло-галогеновые лампы мощностью 5 кВт (переключение мощности излучения 2 кВт, 5 кВт).

Равномерность: более 85%.

Интенсивность излучения: 40 мВт/см² на длине волны 365 нм.

Энергетика

Электроэнергия: 380 В х 3 фазы + нейтраль, 50 Гц, 60А, 20 кВА

Сжатый воздух: 5 атм, 40-80 л/мин

Подвод сжатого воздуха: 1/4″

Подвод / слив воды: 1 ¼"

Подвод чистой воды: ½", давление 2 кг/см²

Охладитель: 7-11ºС, 60 литров в минуту (охладитель с эффективностью 5 тонн)

Габариты установки: Ш1545 х Г3316 х В1800 + 120 мм
Условия эксплуатации: чистая комната класса 5000 с температурой 22 ±2ºС и относительной влажностью 55 ±5%.

Прочее

Состояние: новое оборудование
Срок поставки: 14-16 недель
Условия поставки: со склада в Зеленограде
Статус: поставка на заказ.
Все запросы по ценам присылайте по адресу: oborud@tabe.ru.