 |  | C SUN Mfg. Ltd.Фирма C SUN Mfg. Ltd. образована в 1966 году. Занимается разработкой оборудования для решения задач в области инженерной механики, электрики, электроники, программном обеспечении, оптике и химии. |
 |
 | | Фоторезист. C SUN UVE-M565T/F, 5 КВт. Установка экспонирования с коллимированным источником света
Описание установки
Установка UVE-M565T с системой выравнивания фотошаблона по 2 реперным знакам и UVE-M565F с системой выравнивания фотошаблона по 4 реперным знакам с контролем качества выравнивания на встроенном видеомониторе предназначены для двухстороннего экспонирования сухого плёночного фоторезиста.
Установка оснащена коллимированным (рассеяным с параллельными лучами) источником света.
С несколько меньшей эффективностью установку можно эксплуатировать для экспонирования паяльной маски.
Особенности
Двухстороннее экспонирование;
Автоматическое управление временем экспонирования;
Две рамы стекло-стекло;
Измеритель интенсивности излучения IL1400А, США;
Управление установкой от программируемого логического контроллера с сенсорным экраном;
Условия эксплуатации: чистая комната не хуже «класс 5000», с температурой 22ºС±3 ºС и относительной влажностью 55%±5%;
Чистый воздух попадает в камеру экспонирования через встроенный HEPA фильтр.
Технические характеристики
Заготовка
Размеры заготовки: от 254 х 305 мм до 535 х 610 мм;
Толщина заготовки: 0,3-2,0 мм;
Фиксирование заготовки: на штифтах диам. 3 мм;
Выравнивание заготовки: автоматически по двум или четырём реперным знакам.
Фотошаблон
Размеры фотошаблона: фиксированный размер до 670 х 592 мм, указывается при заказе установки;
Фиксирование фотошаблона: вакуумом;
Выравнивание фотошаблона: автовыравнивание с точностью ±25 мкм с ручным контролем.
Источник света
Источник света: 2 х 5 КВт, ртутно-ксеноновые ламты с короткой дугой;
Угол коллимирования: менее 2º;
Угол отклонения лучей от вертикали: менее 2º;
Неравномерность: <±10%;
Интенсивность излучения: 20 мВт/см² на длине волны 365 нм;
Метод охлаждения: косвенное водяное охлаждение с внешним охладителем.
Энергетика
Электроэнергия: 380 В х 3 фазы, 50 Гц, 30 КВА;
Сжатый воздух: 6 атм, 40-80 л/мин;
Подвод воды: 1”;
Слив воды: ¾”;
Охладитель: 7-11 ºС, 30 литров в минуту;
Вытяжная вентиляция: 1620 м³/час.
Габариты
Габариты установки, Д х Ш х В: 3300 х 1316 х 2120 + 120 мм.
Прочее:
Состояние: новая;
Срок поставки: 10-14 недель;
Статус: поставка на заказ.
ЗАПРОСЫ НА ЦЕНЫ НЕ РАЗМЕЩАЙТЕ, ПОЖАЛУЙСТА, НА ФОРУМЕ!
| |
|
